头部高度
FlyEye300W
单模组2D/3D晶圆外观检查量测机
机器特长
* 灵活对应8-12英寸裸晶圆/铁环晶圆，选配对应方板以及其他单颗类产品
* 高精度高产出（最高像素可达0.225微米 / 10微米缺陷检出时，2D/3D检查WPH高达70片）
* 单体CCD相机检测2D/3D数据及缺陷
* 数字共聚焦解决方案及算法提供出色的精度及适配性
规格参数
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